洁净厂房所使用公共设备的监控系统, 将厂区内冷冻水系统、热水系统、MAU与AHU空调系统、CDA系统、GMS特气系统、RO纯水系统、废水系统、废气系统、化学品系统、能源管理系统、漏液侦测系统等各系统在厂务监控室统一监管，为信息生产及安全管理体系提供良好的平台，首先在体系中收集原始的数据，为安全生产提供数据分析保障和良好数据管理，在生产运营中可根据实际情况调整管控方法，将工作效率大大的提高，减少能源系统运行管理成本，提高劳动生产率，并提出节能降耗的技术和管理措施。FMCS是采用分层的分布式结构的监控系统，按控制级别分为三层：

第一层为现场设备层：各类传感器、变送器、探测器、阀门执行机构，变速设备，马达电机，限位开关及其他相关工艺设备及装置，实现对现场数据的上传和控制器命令的执行的功能。

第二层为控制层：完成单元层操作的软件和硬件。例如单回路控制器和可编程的逻辑处理器等设备，实现对底层设备的数据采集，下发控制命令，监视现场控制情况的功能。

第三层为管理层(SCADA)：分为现场子系统管理和全厂管理。管理层包括操作站、工程师站、主服务器、OPC 服务器、WEB 服务器、热备份服务器、图形打印机、报警打印机、SCADA用的HMI 软件等。现场子系统管理主要完成各子系统的监视和操纵，进行现场数据的提取，并将数据作为集成系统的OPC Server数据源，现场子系统管理是确保各子系统独立运行的基础。全厂管理是监视和管理中心，负责整个系统协调运行和综合管理。