空气分子污染(AMC)是危害生产工艺并导致成品率降低的分子态化学物质，AMC会在半导体制造的多个关键工艺上造成晶片表面的侵蚀，洁净室设备的腐蚀，晶圆表面或光学镜面上之阴霾和微粒发生等各种危害，影响产品质量，是半导体制造面临的越来越严峻的问题，也是生产环境控制中急待解决的问题。中电建设提供了全方位的AMC控制服务：项目阶段选用低挥发性的建筑材料、外气的AMC通过MAU安装水洗器和化学过滤器来去除、内部产生的AMC通过FFU上安装化学过滤器来去除、安装在线AMC监测系统、建议在空气压缩机（CDA）的空气入口安装化学过滤器。