工工艺生产、实验等过程中经常用到各类化学品、特气、或产生高温、颗粒物、有毒有害物质、水汽等，因此在半导体、新能源、医药等领域的厂房或实验室中需要设计各种类型的工艺排气，来排出设备内空气来保证机台内部生产需求或保护室内人员健康。除热、湿排气外，其余排气根据含有的污染物需要采用不同的处理设备处理后达到环保要求的排风标准后才能排放到室外。 常用的处理措施如下：

洗涤塔： 常用于半导体领域酸碱排气系统，也经常用于颗粒物洗涤等

转轮回收+焚烧炉 常用用半导体领域有机排气的处理，以及新能源领域NMP排风

吸附塔： 根据填料不同可以处理不同的污染物，最常见的是活性炭填料，可以处理有机、除臭及低浓度复合污染物

除尘器 ： 常用于新能源、医药等领域除尘排气

转轮浓缩：常用于半导体

有机排气浓缩处理，以及新能源项目中NMP浓缩回收(辅以制冷盘管进行冷凝)

袋进袋出过滤器：常用于医药项目剧毒颗粒、高致敏、细菌病毒排气处理