半导体超大洁净空调系统(洁净空调机房)
半导体厂房作为工业领域的明珠,其工艺生产环境有严格的要求,例如高精度温湿度、高洁净度、AMC/VOC控制等;通长新风空调机组(功能段包含多级过滤、水洗、化学过滤等)长度在15m以上,中电建设承建的12英寸半导体厂房新风空调系统风量超百万级。
半导体厂房作为工业领域的明珠,其工艺生产环境有严格的要求,例如高精度温湿度、高洁净度、AMC/VOC控制等;通长新风空调机组(功能段包含多级过滤、水洗、化学过滤等)长度在15m以上,中电建设承建的12英寸半导体厂房新风空调系统风量超百万级。